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智能吸附仪――动态采样质谱仪系统 IGA－DSMS System
生产商：英国HIDEN ANALYTICAL LTD





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DSMS System


简介：
　　HIDEN公司的动态取样质谱仪与IGA系列吸附仪连接，可进行逸出气体的分析，及TPO、TPD、TPR的研究。在IGA操作软件上进行同步的质谱数据记录和显示。

技术规格：

　质量范围：1～200amu或1～300amu
　检测水平：ppm 或ppb
　UHV 60 l/sec turbomolecular pump set
　UHV vacuum manifold
　Pirani/Penning gauge
　2m heated capillary and bypass manifold
　Heated direct source inlet
　Two stage rotary bypass pump
　IGA Interface









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