艺术级的SIMS 探针，极易联结至现有的UHV表面科学研究反应室

· 静态 /动态SIMS
· 分析粗糙、一般用途的表面
· 整体的前端离子化仪，便于RGA和 SNMS
· 兼容的离子枪/ FAB 枪
· 合成物/污染物分析
· 深度压型
· 泄漏探测
· 与Hiden SIMS 工作站兼容

1000 系列EQS 规格：

· 质量数 913amu，对 Cs(CsI)3+ ，100cps/nA (在5keV时，用氧气离子束轰击碘化铯)

EQS 是差式泵式二次离子质谱，可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中子。