艺术级的 FAB /离子枪，进行表面和深度分析
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· 螺旋电子波谱
· 离子束溅射
· 绝缘体的FAB/SIMS 研究
· 表面科学研究
· 光栅 / 深度压型

Hiden IFG200 快速原子轰击/离子枪，进行静态、动态 SIMS研究。