低于ppm级，分析金刚石生长过程中产生的组分 ，或现存的组分

· CVD
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· 过程控制/ 在线实时监测
· 污染物研究
· 副产物分析，便于改良再现性、及产物质量

HPR-50喷射离析器质谱，专业、 定制的气体分析系统，监测金刚石生长过程。