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HPR-90 密封气体分析仪
生产商:英国HIDEN ANALYTICAL LTD
HPR 20 QIC连续进样的气体或蒸汽研究级系统
HPR-40溶解性气体分析仪
HPR 50化学气相沉积CVD/金刚石沉积过程分析仪
HPR 60分子束取样/中子、离子和原子测量系统
HPR-70批量进样气体分析仪
HPR-90密闭气体分析仪
QIC-100质量数为1000amu的气体/蒸汽分析仪
独特、专门的系统,分析灯罩中填充气体,及其他密封件中的气体。
· 填充气体分析
· 质量控制研究
· 密闭体积分析
Hiden HPR-90,专门设计用来分析密封系统
特点:
· 可互换的裂化室,手动裂化机理
· 网眼筛选,密封件固定器,2 微米在线进样口过滤器
· Hiden HAL/3F 301 RC 三极滤过四极杆质谱
· 2个240 l/s 涡轮泵系统,附备用泵、多支管、及仪表
· 自动进样口,附自动漏泄阀、风箱密封隔离阀、自动闸式阀、电容压力计和阀门控制单元
· 校正气体进口包括阀和零件
· 灵敏度高,10 mbar压力之下,密封包分析可至10 ppm
· 质量数至 2500 amu.
· 稳定性好(24h以上,小于峰高变化的0.5% )
· 经RS232, RS485,Ethernet,软件MASsoft 控制
· 全加固的且经过测试的移动式实验系统
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