Hiden
离子铣削探针（IMP） – 终点探测器
|
|
|
生产商：英国HIDEN ANALYTICAL
LTD
|
|
独有的专业检测终点仪器，用于离子蚀刻控制以及过程质量最优化监测。
· 终点分析
· 目标产物不纯组分检测
· 质量控制/ SPC
· 残余气体分析
· 泄漏监测
IMP（离子铣削探针）自带差压泵，坚固的二次离子质谱仪，适于分析离子铣削过程中的二次离子和中子。 |
| 特点： |
· 高灵敏度的 SIMS / MS，带脉冲离子计算探测器
· 三级过滤四极杆，质量数300 为标配
· 差式泵多支管，经连接法兰，接到过程室
· 离子光学器件，带能量分析器和内置离子化仪
· 联动装置，以提供过压保护
· 数据系统，与过程分析工具整合
· 稳定性(超过24h，小于峰高变化的 ±0.5%)
· 经 RS232, RS485 or Ethernet LAN， 软件MASsoft控制
· 程控DDE, 平行数字式I / O, RS232通讯 |
|
|
|
Copyright
©2002~2003 Rakon Science & Technology
Ltd
|
|
|
