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XBS MBE 沉积速率监控器 / 控制系统

生产商:英国HIDEN ANALYTICAL LTD



相关产品:

XBS-MBE沉积速率监测/控制系统

IMP-离子束蚀刻终点测定仪
 
XBS 三级滤过四极杆,适于精确的气体分析和科学实验使用。

· MBE 监视和控制
· 分子束研究
· 多光束源分析
· 高性能残余气体研究
· 脱附 / 除气研究/退火周期
· 容器、过程气体污染物分析

Hiden XBS质谱,适于高精度科学研究、过程操作使用、MBE分析。
特点:
· 灵敏度高, 检测范围从100% 至5ppb,质量数范围至510 amu.
· 长期稳定性(超过24h,小于峰高变化的±0.5%).
· 交叉离子源, 光束接收经过 +/- 35°至水平轴
· 离子源控制,以利软离子化和表观电压质谱
· 大原子量传送灵敏度增强,自动质量数范围列表
· 2mm 束接受孔, 以利特殊使用者操作
· 一级过滤处增加射频,抗污染物能力增强。
· 内置UHV 兼容的水冷却罩
· 分子束研究中,检测极限低至30 ions / s
· 监控器增加速率1Â / min,或更低
· 经由RS232, RS485 or Ethernet LAN, WindowsTM界面,MASsoft软件控制


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