HIDEN HMT100-RC

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相关产品：

RGA系列四级杆

HMT 100-RC系列高压残余气体分析四级杆

HPR-30超高真空过程气体分析仪

HPR80 活泼性、腐蚀性气体分析仪

针对真空诊断以及过程监测的双重模式RGA 系统

· 残余气体或泄漏检测
· 实际泄漏分析或脱附
· 除气研究
· 退火周期
· 泵操作
· 腔室/过程气体污染物

HIDEN HMT RGA四级质谱仪，独特的双重模式RGA系统，检测已存在的、或生产过程中形成的气体。

特点：

· HMT型适用于高压4x10-3 Torr操作（最小压力4x10-8 Torr）
· 在P < 10-4 Torr时具有高灵敏度的RGA操作模式，最小压力1x10-11 Torr
· 最大质量数100amu，软件操作。
· 稳定性好(24h之上，小于高度变化的±1% )
· MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制
· 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
· 混合模式扫描－多个windows窗口显示信息，例如趋势、柱状图和信号峰
· 同步显示数据图，列表
· 同步背景扣除，自动质量数列表
· 数据输出为ASCII格式，至windows设备
· 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例如Excel、SPC-IV统计过程控制软件