HIDEN RGA

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残余气体分析仪，针对真空诊断的精确分析

· 残余气体或泄漏检测
· 实际泄漏分析或脱附
· 除气研究
· 退火周期
· 泵操作
· 腔室/过程气体污染物

HIDEN RGA 系列四级质谱仪，检测容器中的存在组分，或进行过程中产生气体的分析。

特点：

· 灵敏度PPM,质量数至300amu
· 稳定性（24小时以上小于峰高变化的±0.5%）
· MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制
· 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
· 混合模式扫描－多个windows窗口显示信息，例如趋势、柱状图和信号峰
· 同步显示数据图，列表
· 同步背景扣除，自动质量数列表
· 数据输出为ASCII格式，至windows设备
· 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例如Excel、SPC-IV统计过程控制软件