HIDEN-HPR80

瑞特恩技术

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快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体混合物

· 等离子体/反应性离子蚀刻研究
· CVD / PVD / MOCVD
· 半导体晶片加工研究
· 真空、等离子体过程
· 定量分析活性物质
· HF，HCl，HBr，CFC 研究

HPR-80是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器

特点：

· 电镀抛光、加热的风箱，快速联结器
· 高灵敏度至 5 ppb, 质量数为 2500 amu.
· 进样压力从 1 mTorr 至大气压
· 电容压力计，压力检测可不受分析物影响
· 稳定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
· 软件 MASsoft 控制
· 矩阵倒置，归一化及单峰参考