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生产商：英国HIDEN ANALYTICAL
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· 蚀刻 / 沉积作用研究
· 离子植入 / 激光切除
· 残余气体分析 / 泄漏检测
· 等离子体电极耦合 ，即在操作中遵从电极设定条件
· 通过视口, 接地电极, 从动电极，进行分析
Hiden EQP是一台结合质量和能量分析的仪器。用于分析等离子过程中阴、阳离子，中子，以及活性基。
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| 特点： |
· 软件控制的离子萃取光学系统，以使等离子体扰动最小
· 45°静电扇区分析仪，扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM.
· 所有能量范围内，离子射程的最小扰动，及恒定离子发射
· 差式泵的三级滤过四极杆，质量数范围至2500amu.
· 高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计算探测器，有70个动态范围
· 表观电势质谱用可调的离子化仪，电子附件可选配
· 联动装置以提供过压保护
· 研究脉冲等离子体（或能量、质量）分布随时间的变化，信号选通分辨率1ms
· 1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体.
· Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选
· 经由RS232, RS485， Ethernet LAN，控制软件MASsoft |
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Copyright
©2002~2003 Rakon Science & Technology
Ltd
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