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EQP – 等离子体质量和能量分析仪
生产商:英国HIDEN ANALYTICAL LTD



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PSM--等离子体质量和能量分析仪
ESPion – 高级Langmuir探针,用于等离子体诊断
ICP 等离子体工作站
 

· 蚀刻 / 沉积作用研究
· 离子植入 / 激光切除
· 残余气体分析 / 泄漏检测
· 等离子体电极耦合 ,即在操作中遵从电极设定条件
· 通过视口, 接地电极, 从动电极,进行分析

Hiden EQP是一台结合质量和能量分析的仪器。用于分析等离子过程中阴、阳离子,中子,以及活性基。

特点:
· 软件控制的离子萃取光学系统,以使等离子体扰动最小
· 45°静电扇区分析仪,扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM.
· 所有能量范围内,离子射程的最小扰动,及恒定离子发射
· 差式泵的三级滤过四极杆,质量数范围至2500amu.
· 高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计算探测器,有70个动态范围
· 表观电势质谱用可调的离子化仪,电子附件可选配
· 联动装置以提供过压保护
· 研究脉冲等离子体(或能量、质量)分布随时间的变化,信号选通分辨率1ms
· 1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体.
· Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选
· 经由RS232, RS485, Ethernet LAN,控制软件MASsoft


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