HIDEN-PSM

瑞特恩技术

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相关产品：

EQP – 等离子体质量和能量分析仪

PSM－－等离子体质量和能量分析仪

ESPion – 高级Langmuir探针，用于等离子体诊断

ICP 等离子体工作站

· 离子束蚀刻
· 等离子体沉积研究
· 离子植入 / 激光切除
· 残余气体分析
· 泄漏探测

PSM 是一台差动泵质谱，分析等离子过程中的二次离子和中子。

特点：

· 差动泵管路，经安装法兰联至过程反应室
· 灵敏度高 / 极稳定的3极滤过四极杆，质量数范围至2500
· 脉冲离子计算探测器，70个动态范围
· 在标准 ±100eV（1000eV可选）下杆偏移扫描，能量分析可选
· 离子萃取/排除光学系统，可调的离子化仪（用于）表观电势MS
· 联动装置，提供过压保护
· 研究脉冲等离子体（或能量、质量）分布随时间变化关系时，信号选通分辨率1ms
· 标准分析中子、活性基，+ve / -ve 离子分析可选
· Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选，高压操作可选
· 经由RS232, RS485，Ethernet LAN ，软件MASsoft 控制