· 获得数据速度：每秒15次扫描，D-O-E-界面，以利自动，半自动，或手动分析
· Hiden领先于被动射频补偿, ESPion 具有最高级别的可商用的模块化阻抗
(4.25Mohm at 13.56
MHz cf. 100kohm)
· 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链，使用者在调至其他频率检测时可将其取代
· 参考探针补偿用于抵制较低频率影响，例如等离子体电位漂移(例如，反应室内腔阳极氧化所致)
或噪音
(例如，供电源引起)
· ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针，ESPsoft 包括所有必需的标准脉冲选通电路
· 300, 600 ，915mm 自动线性驱动器可选, 互锁隔离阀， 90°探针,
组合式线性－旋转驱动器可选
· 自清洗循环，防止探针尖端污染
· 经由RS232, RS485，Ethernet LAN，软件ESPsoft 控制 |
