可对射频等离子体过程中的所有种类进行组合式的质量/能量分析
· 等离子体/ 反应性离子蚀刻研究
· CVD / PVD / MOCVD
· 表面修正
· 真空/等离子体过程
· 等离子体清洁 / 杀菌
· 薄膜制造/修改
· 合成物制造/修改

Hiden ICP等离子体工作站，完整的RF-ICP 反应器/ 等离子体分析系统，可研究全部的等离子体过程.