三级过滤式四极杆质谱仪
HAL 3F系列三级过滤RGA系统
PIC质谱仪，带脉冲离子记数检测
EPIC质谱，带脉冲离子检测和磁偏控制
四级质谱仪的组成

过程控制系统
XBS-MBE沉积速率监测/控制系统
IMP－离子束蚀刻终点测定仪

实验室气体分析仪
QIC-20 实验室用气体/蒸汽分析仪
Hydra 多路气体分析仪

气体研究分析仪
HPR 20 QIC――连续进样的气体或蒸汽研究级系统
HPR-40－－溶解性气体分析仪
HPR 50――化学气相沉积CVD/金刚石沉积过程分析仪
HPR 60――分子束取样/中子、离子和原子测量系统
HPR-70――批量进样气体分析仪
HPR-90――密闭气体分析仪
QIC-100――质量数为1000amu的气体/蒸汽分析仪

气体取样阀
Proteus 40/80路进气阀
8路进气转换支管

表面科学
EQS SIMS-－二次离子质谱仪
IG20――离子枪
IG系列离子及离子/FAB 枪
SIMS 完备的二次离子分析系统
IDP离子及中子分析仪

等离子表征
EQP ――等离子质量、能量分析仪
PSM系列――在线等离子分析仪
ESPION――高级Langmuir探针
ICP Plasma Workstation――等离子体工作站